锑化铟晶片高温加速贮存性能变化研究
2023-09-13
本文通过对锑化铟晶片进行高温加速试验来测量不同时间点的几何参数、表面粗糙度、位错密度和电学参数,从而获得锑化铟晶片在高温加速贮存下性能的变化。
本文通过对锑化铟晶片进行高温加速试验来测量不同时间点的几何参数、表面粗糙度、位错密度和电学参数,从而获得锑化铟晶片在高温加速贮存下性能的变化。
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