红外探测是以红外成像为核心的一项探测技术,它通过把红外辐射转换成其它可测量物理信号(如:电压),并对该物理信号做相应的模拟或数字信号处理,从而得到可供人类视觉分辨的图像。发展至今,红外探测技术已经广泛应用于军事、医疗、农业、安防等多个领域。

鉴于现有技术的缺点,本发明提供了一种基于SOI(绝缘体上硅材料)量子点异质结的红外探测器制备方法,用于解决现有技术中Si基CMOS集成电路工艺复杂、容易对Si衬底造成污染且制成的红外探测器探测效率低等问题。

本发明提供了一种改进的光学读出红外探测器结构及其制作方法。探测器结构包括:玻璃衬底和通过第二锚悬空于玻璃衬底上的悬浮结构;悬浮结构包括可见光反射层、红外吸收层以及支撑梁。