基于PDMS衬底的高效顶发射930 nm薄膜VCSEL,为生物医学应用开辟技术可能性
2023-04-11
本文实现了一种转移到PDMS衬底上的生物相容性顶发射930 nm薄膜VCSEL,具有高度的柔性。双转移技术使所制造的930 nm薄膜VCSEL能够保持p-on-n极性。
本文实现了一种转移到PDMS衬底上的生物相容性顶发射930 nm薄膜VCSEL,具有高度的柔性。双转移技术使所制造的930 nm薄膜VCSEL能够保持p-on-n极性。
本文通过仿真计算与实验分析相结合,设计了基于Ⅱ类超晶格焦平面阵列探测器的多层背增透膜,确定了高低折射率膜层材料的选择,并通过仿真计算对膜层厚度进行了优化。
文中对近10年来基于InP/InGaAs SPAD的技术改进进行了归纳总结,分析了器件设计和研制中面临的主要问题、技术解决途径和取得的进展,最后探讨了短波红外单光子探测器未来的发展趋势。
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