这项研究简要回顾了短波中红外硅基光子学的发展历程,从无源波导器件、非线性光学波导器件和光电波导器件三方面综述了短波中红外硅基光子学的发展历史和前沿进展。

这项研究对微电子器件三维集成技术进行了总结介绍,列举了国外相关研究机构利用三维集成技术研制红外探测器的进展,探讨了三维集成技术在红外探测器研制中面临的挑战。

美国德克萨斯农工大学近日发表了利用中红外氮化硅(SiN)波导传感器检测挥发性有机化合物(VOC)的论文,该团队开发的新型波导传感器能够为健康、农业和环境等应用监测多种气体分析物。