新型红外光学器件制造工艺:在玻璃中加工玻璃

在光学学科中,玻璃的使用几乎无处不在。玻璃科学的不断进步和研究中显现了多种玻璃成分和配方,涵盖了广泛的物理特性,例如透明光谱窗口、色散、线性和非线性折射率、表面耐刮擦性、脆性、化学稳定性等。针对红外波段来说,硫属化物玻璃凭借其出色的透射窗口、高折射率和非线性光学特性而被大量应用,但由于这种玻璃较差的机械性能和较低的化学和环境稳定性,生产硫属化物玻璃以及对其加工、集成和包装仍然是一个巨大的挑战。

为了解决这一问题,瑞士洛桑联邦理工学院(EPFL)的研究人员开发了一种全新的制造工艺,该工艺可以将红外玻璃嵌入到另一种玻璃(如二氧化硅)基底中,并以此形成复杂的3D形状,其加工尺寸可以达到微米级别,甚至更小,且可以用于创建任何互连的3D形状,其相关内容已发表于Optics Express中。

对于这种新型工艺,研究人员首先使用飞秒激光(聚焦光斑约为1 μm)对石英玻璃基板改性;其次利用湿法化学刻蚀在基板内创建一个任意形状的3D空腔;然后再将微型模具放置在玻璃坩埚中,并将硫属化物玻璃放置在顶部进行渗透,在此期间为了使红外玻璃顺利的进入模具,还需施加10MPa的静压压力;最后,在保持压力的同时冷却样品,通过抛光去除多余的硫属化物后,得到熔融石英中3D硫属化物微结构的最终产品。另外,红外玻璃材料还可以替换为金属、玻璃或任何熔点低于二氧化硅基材且不与二氧化硅玻璃反应的材料。

该研究小组的负责人Bellouard表示:“我们的制造方法可以完美的保护红外玻璃,并为实现微型红外光子集成电路开辟了新途径。此外,由于熔融石英和硫属化物具有高折射率对比度,我们可以将这些材料制成红外波导,使其可以像光纤一样对光进行传输。”

他们还补充道,基于该工艺创建的一些结构可以有效地用于8 μm量子级联激光器中,未来他们将继续探索新工艺在组合不同玻璃方面的能力,并计划在光谱学和其他应用中测试复合材料器件。 (文章来源:光电汇王越)

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