本文通过仿真计算与实验分析相结合，设计了基于Ⅱ类超晶格焦平面阵列探测器的多层背增透膜，确定了高低折射率膜层材料的选择，并通过仿真计算对膜层厚度进行了优化。

ToF相机与其他三维成像技术相比，具有体积小、成本低、实时深度成像等优势，广泛应用于机器视觉、人机交互、工业自动化、自动驾驶、目标识别等领域。

文中对近10年来基于InP/InGaAs SPAD的技术改进进行了归纳总结，分析了器件设计和研制中面临的主要问题、技术解决途径和取得的进展，最后探讨了短波红外单光子探测器未来的发展趋势。