近日,加拿大阿尔伯塔大学在Scientific Reports期刊上发表了利用微型圆盘超表面的表面增强中红外吸收光谱技术的最新研究论文。这项研究工作是向低成本、更紧凑的片上集成气体传感器迈出的重要一步。

这种基于CMOS-MEMS工艺的增强型碳纳米管(CNT)热发射器,通过将CMOS微型加热板与电介质封装的碳纳米管薄膜相结合,使得中红外光源实现了高度一致的发射率和长期运行稳定性,并且制造成本非常低。