这项研究对微电子器件三维集成技术进行了总结介绍,列举了国外相关研究机构利用三维集成技术研制红外探测器的进展,探讨了三维集成技术在红外探测器研制中面临的挑战。

美国德克萨斯农工大学近日发表了利用中红外氮化硅(SiN)波导传感器检测挥发性有机化合物(VOC)的论文,该团队开发的新型波导传感器能够为健康、农业和环境等应用监测多种气体分析物。

滨松光子通过分析太赫兹波的产生原理、提高量子级联激光器(QCL)输出功率,同时利用滨松自主的光学设计技术,加上高效的衍射光栅外部谐振器,成功开发出了全球首款可在0.42~2THz范围内产生任意频率太赫兹波的QCL模块。

微纳结构与传统半导体探测器集成后能够有效提高光子耦合效率和等效光程,突破传统体材料的吸收极限,提高光电器件的量子效率并降低器件的暗电流,为高性能红外探测器的研究提供了全新的技术手段。