感知“利”器|一种基于SOI量子点异质结的红外探测器
2018-05-07
鉴于现有技术的缺点,本发明提供了一种基于SOI(绝缘体上硅材料)量子点异质结的红外探测器制备方法,用于解决现有技术中Si基CMOS集成电路工艺复杂、容易对Si衬底造成污染且制成的红外探测器探测效率低等问题。
鉴于现有技术的缺点,本发明提供了一种基于SOI(绝缘体上硅材料)量子点异质结的红外探测器制备方法,用于解决现有技术中Si基CMOS集成电路工艺复杂、容易对Si衬底造成污染且制成的红外探测器探测效率低等问题。
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