本文以典型光学视觉传感器技术为主线,从CCD图像传感器、CMOS图像传感器、智能视觉传感器以及红外图像传感器等研究方向,梳理论述近年来光学视觉传感器技术的发展现状、前沿动态、热点问题和趋势。

该研究通过磁控溅射技术在n型Si衬底上制备了晶圆级碲纳米颗粒薄膜,并采用微纳光刻技术构建了基于Te/Si异质结的具有高像素密度和出色性能的近红外成像阵列。