这种基于CMOS-MEMS工艺的增强型碳纳米管（CNT）热发射器，通过将CMOS微型加热板与电介质封装的碳纳米管薄膜相结合，使得中红外光源实现了高度一致的发射率和长期运行稳定性，并且制造成本非常低。