碳纳米管CMOS-MEMS热发射器赋能中红外光谱应用
2021-12-13
这种基于CMOS-MEMS工艺的增强型碳纳米管(CNT)热发射器,通过将CMOS微型加热板与电介质封装的碳纳米管薄膜相结合,使得中红外光源实现了高度一致的发射率和长期运行稳定性,并且制造成本非常低。
这种基于CMOS-MEMS工艺的增强型碳纳米管(CNT)热发射器,通过将CMOS微型加热板与电介质封装的碳纳米管薄膜相结合,使得中红外光源实现了高度一致的发射率和长期运行稳定性,并且制造成本非常低。
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