为了提高探测器的PDP性能,这项工作提出了一种双雪崩区(DAR)SPAD,该SPAD通过掺杂优化扩展了雪崩倍增区。双雪崩区SPAD采用40 nm CMOS图像传感器(CIS)技术制备,这是迄今为止所报道的最先进的CMOS SPAD技术。

与2021年推出的上一代SPAD一样,这款近红外SPAD也基于X-FAB的180 nm XH018工艺。通过在制造工艺中增加额外的步骤显著增强了信号,同时仍然保持相同的低本底噪声,且不会对暗计数率、寄生脉冲和击穿电压等参数产生负面影响。

本研究研发出高性能的1030 nm激光器货架产品,解决了激光光源的问题。相较于传统的近红外激光雷达,这种1030 nm单光子探测激光雷达在未来汽车自动驾驶、地形测绘等方面有很大的应用潜力。

本文首先基于不同原理介绍了多种机理的超构表面光谱成像,然后回顾了基于超构表面光谱成像的应用,最后对目前超构表面光谱成像工作进行了总结并对未来发展方向进行了展望。