本文通过仿真计算与实验分析相结合,设计了基于Ⅱ类超晶格焦平面阵列探测器的多层背增透膜,确定了高低折射率膜层材料的选择,并通过仿真计算对膜层厚度进行了优化。

本论文介绍了二类超晶格材料作为红外探测器的优势,国际上二类超晶格红外焦平面探测器的研究进展与技术发展历程,并分析国内二类超晶格红外探测器材料与器件研究中存在的技术问题。