半导体研究院项目包括建设一条化合物半导体芯片工艺线和一条MEMS工艺线，满足研发、中试要求，并为烟台发展新型半导体产业提供平台支持。其中，化合物半导体芯片工艺线面向半导体激光器、光电探测器、微波器件以及功率器件；MEMS工艺线面向高端光学MEMS器件、RFMEMS器件和惯性MEMS传感器等。