这项研究介绍了用于短波红外传感的浅台面型光电二极管的完整设计、制造和表征。对于InGaAs光电二极管的制造而言，关键工艺步骤是通过在N型堆叠中创建P区来定义每个像素。以往的研究报道了多种替代方案，包括Zn扩散、Be离子注入以及浅台面型架构。

汽车和机器人领域的新兴解决方案包括TriEye的CMOS短波红外（SWIR）图像传感器和Coherent的固态激光二极管。这两家公司最近联手展示了基于激光照明的短波红外成像系统，适用于汽车前置摄像头和后置摄像头，以及工业和自主机器人中的视觉系统等。

本文以典型光学视觉传感器技术为主线，从CCD图像传感器、CMOS图像传感器、智能视觉传感器以及红外图像传感器等研究方向，梳理论述近年来光学视觉传感器技术的发展现状、前沿动态、热点问题和趋势。

为了提高探测器的PDP性能，这项工作提出了一种双雪崩区（DAR）SPAD，该SPAD通过掺杂优化扩展了雪崩倍增区。双雪崩区SPAD采用40 nm CMOS图像传感器（CIS）技术制备，这是迄今为止所报道的最先进的CMOS SPAD技术。

与2021年推出的上一代SPAD一样，这款近红外SPAD也基于X-FAB的180 nm XH018工艺。通过在制造工艺中增加额外的步骤显著增强了信号，同时仍然保持相同的低本底噪声，且不会对暗计数率、寄生脉冲和击穿电压等参数产生负面影响。