本文主要从碲锌镉表面处理工艺及表面位错揭示两个方面对碲锌镉衬底的表面处理工艺研究进行了详细介绍。

这项研究介绍了用于短波红外传感的浅台面型光电二极管的完整设计、制造和表征。对于InGaAs光电二极管的制造而言,关键工艺步骤是通过在N型堆叠中创建P区来定义每个像素。以往的研究报道了多种替代方案,包括Zn扩散、Be离子注入以及浅台面型架构。

在气体分析、空气质量检测、有害物质检测和激光探测等主要应用的推动下,2020年至2030年期间,光子红外传感器市场CAGR约为20%。同时,VIGO看到了中红外传感器找到更多商业应用的潜力,使得光子集成电路(PIC)的发展成为必要的方向。